油擴散泵又稱油增壓泵,它是從油擴散泵發展而來的。油擴散噴射泵的工作壓力范圍為10~10-2pa，在此工作壓力范圍內油擴散噴射

泵有較高的抽速和最大出口壓力。通常油擴散噴射泵要比油擴散泵的抽氣量高4~20倍，加熱功率高2~5倍。按其工作壓力范圍來說，

油擴散噴射泵正好填補了油封式機械泵和高真空油擴散泵抽氣能力下降的中間地帶。油封式機械泵的抽速在低壓力范圍有明顯的降

低，在10-1pa時實際上抽速幾乎為零；而大多數的高真空油擴散泵在這樣的壓力范圍內抽速也較小。然而在1~10-1pa的工作壓力范

圍內，油擴散噴射泵恰好具有較大的抽速。因此，油擴散噴射泵除用作主泵外，還可以用到大型油擴散泵的出口處，來增加其出口

壓力，使前級機械泵能有效地工作，故稱其為油增壓泵。油擴散噴射泵與油擴散泵相比，不同點僅在于性能曲線的有效工作范圍不

同而已。雖然兩者的結構和應用有所不同，但抽氣的基本原理沒有多大的區別。

油擴散噴射泵目前廣泛用于真空感應爐和真空電弧爐、電容器的真空干燥和浸漬、真空蒸餾等設備上。

對泵來說，無論是在高入口壓力下工作還是低入口壓力下工作，即在整個工作壓力范圍內工作，都應該有足夠高的抽速。當然，這

樣的蒸汽射流狀態，對于泵單獨在高壓力下或在低壓力下工作，性能就不可能是最佳的了，只能是對泵的整個工作范圍來說是最佳

的。在給定的工作壓力范圍內，泵也只能在某一壓力下有抽速最大值。